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栅极电荷俘获型OTP ROM技术解析
资料介绍
一、基本概念与结构特点
1.1 核心定义
栅极电荷俘获型OTP ROM(One-Time Programmable Read-Only Memory,一次性可编程只读存储器)是基于电荷俘获机制实现非易失性存储的只读存储器,属于非易失性存储器(NVM)的重要分支。与传统浮栅型OTP不同,它采用电荷俘获层存储电荷,通过编程操作改变阈值电压实现数据存储,且仅允许一次编程操作,写入后数据不可修改。
1.2 典型结构
栅极电荷俘获型OTP ROM的核心存储单元结构从上到下一般为:控制栅极、栅介质叠层、硅衬底。其中栅介质叠层通常采用"隧道氧化层-电荷俘获层-阻挡氧化层"的三明治结构:
· 隧道氧化层:一般为薄SiO₂层,厚度通常在2~10nm,用于在编程时提供隧穿通道,让电子从衬底进入电荷俘获层
· 电荷俘获层:通常采用氮化硅(Si₃N₄)、富氮氧化物或高k介质材料,内部存在大量缺陷陷阱,能够俘获并存储注入的电子,是实现电荷存储的核心功能层
· 阻挡氧化层:一般为较厚的SiO₂层或Al₂O₃等介质,作用是阻挡电荷从俘获层向控制栅极泄漏,提升存储数据的保持能力
和传统浮栅OTP相比,电荷俘获型结构不需要多晶硅浮栅层,工艺步骤更简单,更容易和逻辑CMOS工艺兼容,成本更低。
二、工作原理
2.1 编程原理
栅极电荷俘获型OTP ROM的编程操作一般采用沟道热电子注入(CHE)或者FN隧穿机制:
1. 沟道热电子注入编程:在控制栅极和漏极施加较高正电压,源极接地,沟道中的电子在漏端高电场下被加速成为热电子,当热电子能量超过隧道氧化层势垒时,就会穿过隧道氧化层被电荷俘获层中的陷阱俘获。被俘获的电子会带有负电荷,使得存储单元的阈值电压升高,对应存储的逻辑状态(一般为"1");未编程的单元阈值电压保持初始低电平,对应"0"状态。由于OTP仅允许一次编程,因此一旦电子注入俘获层后,不会进行擦除操作。
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