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MOCVD自动控制电路的设计及其应用

更新时间:2020-02-02 20:59:55 大小:70K 上传用户:xiaohei1810查看TA发布的资源 标签:mocvd自动控制电路 下载积分:1分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

本文设计了MOCVD自动控制电路,该电路既能手动控制又能采用计算机进行自动控制.将该电路应用于MOCVD系统,成功制备出TiO2纳米级超细粉,在500℃~1000℃范围内,超细粉的平均晶粒尺寸为7.4~15.2nm.

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