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MOCVD自动控制电路的设计及其应用
资料介绍
本文设计了MOCVD自动控制电路,该电路既能手动控制又能采用计算机进行自动控制.将该电路应用于MOCVD系统,成功制备出TiO2纳米级超细粉,在500℃～1000℃范围内,超细粉的平均晶粒尺寸为7.4～15.2nm.
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