积分商城

最新搜索： 8051 ip 推完开关电源 多旋翼 实用电机设计计算手册(第二版)pdf 陈洪亮 dac8571驱动程序
您现在的位置是：首页 > 技术资料 > MMIC用多层磁膜电感研究
推荐星级：
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

MMIC用多层磁膜电感研究

更新时间：2020-10-19 14:05:34 大小：320K 上传用户：gsy幸运查看TA发布的资源 标签：mmic电感 下载积分：2分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

采用磁控溅射生长磁膜工艺，结合BCB（苯并环丁烯）平坦化技术，首次制作了“金属线圈／磁膜／金属线圈（M／F／M）”和“磁膜／金属线圈／磁膜／金属线圈（F／M／F／M）”两种结构的多层磁膜电感，整个工艺与标准MMIC工艺兼容。在2GHz处，“金属线圈／磁膜／金属线圈”结构电感的电感量为7．5nH，品质因数为7．17，与相同结构同工艺同批次传统单层无磁膜电感相比分别提高了270％和47％；“磁膜／金属线圈／磁膜／金属线圈”结构电感的电感量为9nH，品质因数为5．86，与传统电感相比分别提高了350％和25％。结果表明多层磁膜电感在低频范围（〈5GHz）较传统电感有巨大优势。

The multilayer inductors with magnetic thin film were fabricated by magnetron sputtering and benzocyclobutene （BCB） planar process. The inductors have two structures of the ＂metal coils/ferromagnetic thin film/metal coils （M/F/M）＂ and the ＂ferromagnetic thin film/metal coils/ferromagnetic thin film/metal coils（F/M/F/M）＂. The fabrication process is compatible with the standard MMIC integrated process. Traditional single layer inductors without magnetic thin film were fabricated using the same process, in which the structure parameters were consisent with the multilayer inductor with magnetic thin film. The inductance of the inductor with the structure of...

部分文件列表

文件名 大小
MMIC用多层磁膜电感研究.pdf 320K

【关注视频号领20积分】   【关注公众号立即送20积分】

相关下载

全部评论(0)

暂无评论
评论赚积分>>

上传资源 上传优质资源有赏金

热门标签

更多>>

最新上传

  • 打赏
  • 30日榜单

热门下载

推荐下载

本站上的所有资源均为源于网上收集或者由用户自行上传，仅供学习和研究使用，无任何商业目的，版权归原作如有侵权，请 来信指出，本站将立即改正。

ICP许可证号：京ICP证070360号     21IC电子网 2000- 版权所有

京ICP备11013301号

京公网安备 11010802024343号