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基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器设计
资料介绍
提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计，实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量，并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试，验证了其露点测量误差小于0.4℃。
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| 基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器设计.pdf | 393K |
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