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基于LabVIEW的单片式晶片自动化电镀设备通信系统
资料介绍
摘 要：介绍了基于LabVIEW 软件开发的单片式晶片自动化电镀设备的控制系统．详细阐述了各控制模块之间的通信。设
备具备即时工作状态显示、完善的工艺数据库管理和详细的历史记录存储等功能。
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| 基于LabVIEW的单片式晶片自动化电镀设备通信系统.pdf | 780K |
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