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晶圆表面多点温度控制系统仿真建模与比例控制
资料介绍
晶圆表面多点温度控制系统仿真建模与比例控制
部分文件列表
| 文件名 | 文件大小 | 修改时间 |
| seriescontrol_wafer.mdl | 52KB | 2008-02-15 20:22:50 |
| controllerdesign_ys.m | 8KB | 2008-02-19 14:40:24 |
| Identifymodel.mdl | 21KB | 2008-02-14 14:02:50 |
| parallelcontrol_wafer.mdl | 52KB | 2008-02-18 13:53:20 |
| ratiocontrol_wafer.mdl | 49KB | 2008-02-18 13:53:16 |
| result_prbs02u1.m | 1KB | 2008-02-20 14:21:28 |
| result_prbs02u2.m | 1KB | 2008-02-13 15:27:10 |
| verifyexp.mdl | 45KB | 2008-02-21 13:03:36 |
| 【必过源码 Biguo100.com】点击查看更多相关源码资料！百万工程师的选择!.url | 1KB | 2019-08-10 11:31:26 |
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