1293
第6期
粟荣涛等：光 激光相干合成高速高精度相位控制器
4
基于MOPA 构的主 相位控制光 激光相干合成，
控制精度 高于 所需的精度要求， 次迭代速率大于1．125 MHz。和以往基于SPGD算法的相干合成相
位控制器相比有了量 上的提升。理 分析表明， 于2路和16路相干合成，其平均控制 的理
大于70 kHz和9 kHz。在两路光 激光相干合成的 中，当利用相位控制器 两路激光的相位
价函数的平均 从0．465增加到0．703，提高了1．51倍； 曝光光斑的 比度从0．14增加到0．74，
提高了5．29倍。和已 道的基于SPGD算法相干合成的相位控制器相比， 相位控制器具有 多的路数和
和制作了基于FPGA的相位控制器。其
分
行
定
，
的控制
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