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镀层和氧化膜厚度的显微镜测量技术

更新时间：2019-09-23 06:53:08 大小：163K 上传用户：杨义查看TA发布的资源 标签：显微镜测量技术 下载积分：0分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(1) 举报

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文档为镀层和氧化膜厚度的显微镜测量技术总结文档，是一份不错的参考资料，感兴趣的可以下载看看，，，，，，，，，，，，，

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镀层和氧化膜厚度的显微镜测量技术.pdf 163K

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2006 年 11 月  
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ  
ꢀ
ꢀꢀꢀꢀꢀ电镀与环保  
第 26 卷第 6 期( 总第 152 期) ꢀꢀ  
· 33 ·  
·分 ꢀ析·  
镀 层 和 氧 化 膜 厚 度 的 显 微 镜 测 量 技 术  
Measurement of Coating and Oxide Film Thickness by Microscopical Method  
(
)
张德忠 ꢀ 武汉材料保护研究所 ,湖北 武汉 430030  
ZHANG De2zhong  
(
)
Wuhan Research Institute of Materials Protection , Wuhan 430030 , China  
摘要 : ꢀ对 GBΠT 646222005 进行了简单介绍 ,着重介绍了显微镜法测量镀层和氧化膜厚度的原理、测量仪器和操作步骤、测量  
不确定度及其控制等 ,同时对横断面的制备进行了补充说明。该方法的突出特点是直观、重现性好 ,因而常用于仲裁 ,或检测  
精度要求较高的产品和校验其它测厚方法。  
关键词 : ꢀ电镀 ;氧化膜 ;厚度测量 ;显微镜  
Abstract: ꢀGBΠT 646222005 is introduced briefly with focus on its principle , measuring equipments ,process , measurement uncertainty ,  
controls ,etc. Additional explanation is also made on the cross2section preparation. This method is characterized by direct2viewing , good  
repeatability ,therefore usually used for arbitration ,or to examine high precision products and calibrate other thickness measuring methods.  
Key words: ꢀcoating; oxide film; thickness measurement ; microscope  
(
)
中图分类号 :TH 741. 8 ꢀꢀꢀꢀꢀ文献标识码 :A ꢀꢀꢀꢀꢀ文章编号 :100024742 2006 0620033203  
(
)
附录 资料性附录 。  
0 ꢀ前言  
与 GBΠT 646221986 相比 ,该标准修改了标准的  
名称并增加了适用范围、规范性引用文件、相关术语  
和定义及横断面的斜度和齿状结构覆盖层的测量的  
相关内容。该标准于 2005 年 12 月 1 日正式实施 ,  
对促进我国覆盖层相关标准与国际接轨具有十分重  
要的意义。  
(
)
覆盖层厚度是表征覆盖层品质 优劣 的重要参  
数之一 ,因此 ,在科学研究、工艺控制和产品质量检  
测中常常要对覆盖层厚度进行测量。覆盖层厚度测  
量方法较多 ,主要有涡流法[1] 、磁性法[2] 、库仑法[3]  
、
显微镜法 金相法 [4] 、扫描电子显微镜法[5] 、轮廓仪  
法[6] 、X 射线光谱法[7] 等 ,其中横断面厚度显微镜测  
量法是较早采用的光学测量法。该方法直观 ,重现  
性好 ,因而在国内外广泛应用。  
(
)
2 ꢀ测量原理和方法  
显微镜法测量覆盖层厚度简单且直观 ,其基本  
原理是 :在待测件上选取有代表性的试样 ,然后经过  
适当工序制作成符合要求的横断面 ,通过光学显微  
镜 ,在图像放大下 ,用校正过的目镜测微尺或精度较  
1 ꢀGBΠT 646222005 标准简介  
GBΠT 646222005 标准由中国机械工业联合会提  
(
)
(
高的标尺 如游标卡等 测量覆盖层横断面的宽度 ,  
出 ,并列入 2003 年机械工业科学技术发展计划 机  
)
械工业标准制订、修订部分 。由全国金属与非金属  
即为覆盖层的厚度。  
一般来说 ,厚度较大时可选择精度较高的标尺  
直接测量横断面宽度 ;厚度较小时 ,则采用目镜测微  
覆盖层标准化技术委员会归口 ,武汉材料保护研究  
所、宁波永新光学股份有限公司负责起草。该标准  
于 2003 年底完成并通过标委会审查 , 同年上报。  
2005 年 6 月 23 日国家质量监督检验检疫总局和国  
家标准化管理委员会联合发布了该标准。  
μ
μ
尺。由于覆盖层厚度往往在几 m 至几十 m ,因此  
一般都采用目镜测微尺来进行测量。  
此外 ,随着光学显微镜向数字化光电图像显示  
发展 ,数字化显微镜图像检测技术开始应用到覆盖  
层测厚领域。该技术使用高分辨率 CCD 和 CMOS  
摄像机 ,将显微镜的光学图像转换到计算机中 ,然后  
用专用的测量软件系统进行图像测量。  
GBΠT 646222005 标准等同于 ISO 1463 :2003[8]  
,
同时也是对 GBΠT 646221986《金属和氧化物覆盖层  
ꢀ横断面厚度显微镜测量方法》的修改。标准对横  
断面显微镜法测量电镀层和氧化膜厚度的原理、横  
断面制备、测量、测量不确定度及其影响因素、实验  
报告等进行了全面的描述和规定 ,共分 9 章和 3 个  
本文以目镜测微计为例 ,介绍显微镜法测量电  
镀层和氧化膜的厚度。  
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