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电子级多晶硅生产技术研究
资料介绍
介绍了目前国内外电子级多晶硅生产技术的发展状况，重点说明了改良西门子法电子级多晶生产技术原理及其工艺流程，主要包括：氢气制备及纯化、氯化氢合成、低压氯化（三氯氢硅合成）、低温氢化（四氯化硅转化）、精馏、CVD还原、尾气回收和后处理等工序。
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| 电子级多晶硅生产技术研究.pdf | 377K |
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