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电子级多晶硅生产技术研究

更新时间:2018-11-20 16:32:42 大小:377K 上传用户:walion查看TA发布的资源 标签:电子级多晶硅半导体级多晶硅 下载积分:1分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

介绍了目前国内外电子级多晶硅生产技术的发展状况,重点说明了改良西门子法电子级多晶生产技术原理及其工艺流程,主要包括:氢气制备及纯化、氯化氢合成、低压氯化(三氯氢硅合成)、低温氢化(四氯化硅转化)、精馏、CVD还原、尾气回收和后处理等工序。


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