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对GJB 548标准中大规模电路老炼温度的探讨
资料介绍
现有的大规模集成电路老炼试验执行GJB 548中的相关条款,该标准大多数是20年前基于5um大尺寸工艺电路提出的,面对当前45nm及以下工艺的电路,失效机理已经发生了变化,如果沿用原有的标准,容易出现老炼试验应力不足或是过应力的情况。本文分析了工艺变化对老炼试验的影响,结合与老炼试验温度相关的理论分析,对于目前标准老炼试验温度的理解以及执行过程中出现的问题,提出几点建议予以探讨。
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