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半导体设备通讯标准GEM的应用
资料介绍
摘要：SECS/GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了
SECS/GEM标准的构成，提出了使用SECS/GEM标准接口解决半导体设备自动化的问题。详细叙述了
GEM的通信状态模型、控制状态模型和设备处理状态模型，以及GEM的程序设计。并给出了GEM中
事件数据收集的设计的实例。实践表明，SECS/GEM标准设计严谨，适应面宽，在我国半导体芯片工业
中应用前景广阔。
关键词：半导体设备；半导体设备通讯标准；通用设备模型；自动化
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| 半导体设备通讯标准GEM的应用.pdf | 1M |
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