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聚合物柔性电极阵列研究综述.
资料介绍
一、概述
聚合物柔性电极阵列是基于柔性聚合物基底构建的多单元导电电极集成结构，是柔性电子领域的核心功能器件之一。与传统刚性硅基电极阵列相比，聚合物基底具备优异的机械柔韧性、可拉伸性与生物相容性，能够实现与不规则曲面、动态变形界面的共形贴合，在人体生理信号监测、人机交互、软机器人感知、植入式医疗设备等领域展现出不可替代的应用优势。近年来，随着导电聚合物材料、微纳加工技术的不断发展，聚合物柔性电极阵列的性能得到大幅提升，其灵敏度、空间分辨率、稳定性以及长期生物相容性都得到了显著改善，推动相关应用从实验室研究逐步走向产业化落地。
二、核心结构与组成材料
2.1 柔性聚合物基底
基底是聚合物柔性电极阵列的支撑载体，其性能直接决定了器件整体的机械柔性与环境适应性。常用的基底材料主要分为两大类：一类是不可拉伸柔性聚合物，另一类是可拉伸弹性聚合物。不可拉伸柔性聚合物主要包括聚酰亚胺（PI）、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）等，这类材料具备良好的化学稳定性、绝缘性与成膜性，杨氏模量通常在GPa级别，可实现180°弯折，适合制备可弯曲但不可拉伸的柔性电极阵列，广泛应用于柔性触摸屏、可穿戴生理监测贴片等场景。其中PI的耐高温性能优异，可兼容传统半导体微加工工艺，是目前商业化柔性电极阵列最常用的基底材料。
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