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多晶硅基础与产业发展概述
资料介绍
一、多晶硅的定义与基本性质
多晶硅,是单质硅的一种形态,指的是由许多尺寸不同、结晶取向无序的硅晶粒组成的固态硅材料。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。
从化学性质来看,多晶硅的化学性质与单晶硅基本一致,在常温下化学性质稳定,不溶于水、硝酸、盐酸等常见溶剂,能够与氢氟酸、强碱发生缓慢反应;高温环境下容易与氧、氮、硫等非金属元素化合,具备半导体材料典型的导电特性,其电导率会随温度升高而显著上升,拥有明显的光电效应。
从物理外观来看,多晶硅一般呈现为银灰色的固体,有金属光泽,密度约为2.32~2.34g/cm³,熔点1410℃,沸点2355℃,硬度介于锗和石英之间,质脆且容易切割。与单晶硅不同,多晶硅不存在长程有序的晶体结构,晶粒边界处存在大量悬挂键和缺陷,会导致载流子在晶粒边界发生复合,因此多晶硅的电学性能通常弱于单晶硅。
二、多晶硅的分类
按照用途和纯度要求,多晶硅主要可以分为两大类:
1. 太阳能级多晶硅:主要用于制备太阳能光伏电池,对纯度的要求相对较低,一般要求纯度在6N~9N之间(1N=99.9%,6N即为99.9999%),少数高效电池产品会要求纯度达到9N以上。
2. 电子级多晶硅:主要用于制备半导体集成电路、半导体器件所需的单晶硅棒,对纯度要求极高,一般要求纯度达到11N及以上,部分高端芯片制造所需的多晶硅纯度要求可达12N(即杂质含量仅为百亿分之一)。
按照生产工艺路线划分,多晶硅还可以分为改良西门子法多晶硅、硅烷法多晶硅、流化床法多晶硅等不同品类,其中改良西门子法是当前全球市场占比最高的主流工艺路线。
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