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超大规模集成技术概述
资料介绍
1. 定义与发展历程
超大规模集成(Very Large Scale Integration, VLSI)是指在单个半导体芯片上集成超过100,000个晶体管的集成电路技术。其发展始于20世纪70年代末,是集成电路(IC)技术从大规模集成(LSI)向微型化、高密度方向演进的关键阶段。
发展历程里程碑:
1970s末:首代VLSI芯片出现,集成度突破10^5晶体管
1980s:微处理器(如Intel 80386)进入VLSI时代
1990s:铜互连技术取代铝布线,推动集成度提升
2000s:SoC(系统级芯片)成为主流,集成完整系统功能
2020s:3nm工艺量产,晶体管密度超1亿/mm²
2. 核心技术特征
2.1 制造工艺
采用 photolithography(光刻)、etching(蚀刻)、deposition(沉积)等关键工艺,通过以下技术实现高密度集成:
先进制程节点:从1μm到3nm,特征尺寸持续缩小
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