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光栅位移传感器
资料介绍
基本概念
光栅位移传感器是一种利用光栅光学原理实现高精度位移测量的传感器，广泛应用于工业自动化、精密加工、计量检测等领域。它通过将机械位移量转换为光学信号，再经光电转换和信号处理后输出数字或模拟信号，具有测量精度高、响应速度快、抗干扰能力强等特点。
光栅结构
主要由主光栅（标尺光栅）和指示光栅组成。主光栅一般固定在运动部件上，随被测物体一起移动；指示光栅固定不动，与主光栅保持微小间隙（通常为0.05mm~0.1mm）并形成一定夹角。光栅表面刻有等间距的透光与不透光条纹，条纹间距称为光栅常数（通常为10μm~20μm）。
莫尔条纹现象
当两光栅重叠且存在微小夹角时，光线透过光栅会产生明暗相间的干涉条纹，即莫尔条纹。莫尔条纹具有以下特性：
· 放大作用：条纹间距远大于光栅常数，可将微小位移放大，便于检测。
· 平均效应：莫尔条纹是大量光栅条纹共同作用的结果，能减小光栅刻线误差对测量的影响。
· 移动特性：主光栅沿垂直于刻线方向移动时，莫尔条纹沿夹角平分线方向移动，移动方向与主光栅移动方向相关。
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| 光栅位移传感器.docx | 16K |
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