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CST无基板信息的恢复措施
资料介绍
关于CST出苞到cell后,出现有基板无基板信息的现象,CFCIM侧对应方法如下:
成员接到CF生管报告此事
成员从各个方面了解到详细信息(CST 编号\CEX时间\出荷时间等)
→可以通过联系生管、CF制造员、cell 制造员、CF设备科物流组等了解时出荷情况
→在制造部办公室 shipping PC上查找此CST的CEX时间及出荷时间3.在shipping PC上查找当时Cassette exchange 完了时,有没有向CELL CIM 发送“create lote From CF”信号及CELL 侧正常的答复一-return code为0
→查找“create 1ot fromCF”及CELL侧的答复方法,见昨日李亮的邮件
→若以上的信号已发送成功并得到了ce11侧的回复,则说明ce11侧这些基板的信息。
请直接进入到第4步
若发现没有向ce11侧发送此信号或者发送信号的文件内容不正确或者没有收到cel1的侧回复,则需要做以下恢复措施。
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CST无基板信息的恢复措施.docx | 359K |
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