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729-MEMS微型扬声器技术原理.docx
资料介绍
MEMS微型扬声器技术原理
引言
MEMS微型扬声器是利用MEMS工艺制造的微型音频驱动器件，在TWS耳机和助听器中替代传统动圈扬声器。与动圈扬声器相比，MEMS微型扬声器具有体积更小、功耗更低、一致性好、适合SMT贴装的优点。压电MEMS微型扬声器在TWS耳机和助听器中的应用日益普及，是2025年增速最快的MEMS细分品类之一。本文系统介绍MEMS微型扬声器的技术原理及典型应用。
工作原理
压电驱动
MEMS微型扬声器采用压电驱动原理，利用压电薄膜（PZT或AlN）的逆压电效应，在电场作用下产生机械变形，驱动振膜振动发声。压电MEMS扬声器无需磁路和音圈，结构简单，可大幅缩小体积。
静电驱动
利用静电吸引力驱动振膜振动，功耗低，但驱动力较小。
关键技术
压电薄膜
PZT具有高压电系数，驱动力大，是微型扬声器的主导材料。AlN通过Sc掺杂可提升压电系数，无铅环保。
振膜设计
采用多层复合振膜结构，平衡刚度和柔韧性，实现宽频响和高声压级。
性能指标
1. 声压级：>100dB
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