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724-MEMS振镜与激光雷达扫描技术.docx
资料介绍
MEMS振镜与激光雷达扫描技术
引言
MEMS振镜（MEMS扫描镜）是固态激光雷达的核心扫描元件，通过静电或电磁驱动使微型镜面高速偏转，实现激光束的二维扫描。与传统的机械旋转式激光雷达相比，MEMS激光雷达具有体积小、成本低、可靠性高的优势，在自动驾驶、机器人和环境感知领域具有广阔应用前景。2025年用于ADAS的MEMS激光雷达微镜模组出货量同比增长31.5%。本文系统介绍MEMS振镜的技术原理及典型应用。
工作原理
MEMS振镜通过在硅基衬底上制作可扭转的微型镜面，利用静电、电磁或压电驱动使镜面绕扭转轴偏转。当激光束照射到镜面上时，镜面的偏转角度决定了激光束的扫描方向。通过二维扫描（快轴+慢轴），可实现激光束在水平和垂直方向的全覆盖扫描。
驱动方式
静电驱动
利用平板电容器的静电吸引力驱动，功耗低、响应快，适用于小角度扫描。采用谐振式工作模式，可获得大角度偏转。
电磁驱动
利用永磁体和线圈产生的洛伦兹力驱动，可获得大角度偏转（±30°以上），驱动力大，适用于激光雷达。
压电驱动
利用压电材料的逆压电效应驱动，响应速度快，精度高。
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