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715-MEMS射频开关与滤波器技术原理.docx
资料介绍
MEMS射频开关与滤波器技术原理
引言
射频MEMS是利用MEMS技术制造的射频开关、滤波器和振荡器，在5G/6G通信、雷达和卫星通信中具有重要应用。2025年射频MEMS同比增幅达14.8%，博通和高通在射频MEMS领域占据主导地位。MEMS时钟器件在电信领域应用广泛，SiTime的营收较2024年增长了61%。本文系统介绍射频MEMS开关与滤波器的技术原理及典型应用。
MEMS射频开关
工作原理
MEMS射频开关通过静电驱动使微机械触点接触或分离，实现射频信号的导通和断开。与PIN二极管和FET开关相比，MEMS开关具有插入损耗低、隔离度高、线性度好的优点。
关键性能
1. 插入损耗：<0.5dB
2. 隔离度：>40dB
3. 开关时间：<10μs
4. 功率处理能力：>1W
MEMS滤波器
FBAR滤波器
薄膜体声波谐振器（FBAR）滤波器利用压电薄膜的体声波谐振，在2GHz~6GHz频段具有优异的带通特性，是5G手机射频前端的关键器件。
SAW滤波器
声表面波（SAW）滤波器在低频段应用中具有优势，技术成熟、成本低。
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