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708-MEMS生物传感器技术原理与应用.docx
资料介绍
MEMS生物传感器技术原理与应用
引言
MEMS生物传感器是将MEMS技术与生物识别技术相结合的新型传感器，在微流控芯片、植入式医疗器件和即时诊断（POCT）设备中具有重要应用。2025年生物MEMS增速达14.2%，成为高价值增长极，可穿戴健康监测设备对生物MEMS传感器的单机搭载量从2023年的2.5颗升至2025年的4.1颗。本文系统介绍MEMS生物传感器的技术原理及典型应用。
工作原理
微流控芯片
MEMS微流控芯片在硅片或玻璃上制作微米级的流道、混和室和反应腔，可实现微量液体的精确操控，用于生化分析、细胞分选和DNA测序。
电化学生物传感器
在MEMS电极上固定生物识别元件（酶、抗体、DNA探针），当目标生物分子与其结合时，引起电化学信号变化。
压电式生物传感器
利用QCM或SAW器件的质量敏感特性，通过检测生物分子吸附引起的频率变化来实现高灵敏度检测。
关键技术
1. 微流道加工：光刻、刻蚀、键合工艺
2. 生物功能化：生物识别元件的固定方法
3. 微流体控制：微量泵、阀的集成
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