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706-MEMS微镜技术原理与应用.docx
资料介绍
MEMS微镜技术原理与应用
引言
MEMS微镜是一种基于MEMS技术制造的微型光学反射镜，通过静电或电磁驱动使镜面发生偏转，实现光束的扫描和偏转控制。MEMS微镜在激光雷达、投影显示、光纤通信和光学相干断层成像等领域具有重要应用。2025年光学MEMS增速高达15.3%，是增长最快的MEMS细分品类。本文系统介绍MEMS微镜的工作原理、驱动方式及典型应用。
工作原理
MEMS微镜通过在硅基衬底上制作可扭转的微型镜面，利用静电、电磁或压电驱动使镜面绕扭转轴偏转，实现光束的角度控制。镜面的偏转角度和速度由驱动电压和结构设计决定。
驱动方式
静电驱动
利用平板电容器的静电吸引力驱动镜面偏转，具有功耗低、响应快的优点，适用于小角度扫描。
电磁驱动
利用永磁体和线圈产生的洛伦兹力驱动，可获得大角度偏转，适用于激光雷达。
压电驱动
利用压电材料的逆压电效应驱动，响应速度快，驱动力大。
性能指标
1. 镜面尺寸：0.5mm~5mm
2. 偏转角度：±5°~±30°
3. 谐振频率：100Hz~50kHz
4. 分辨率：位数级
5. 反射率：>85%
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