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激光干涉仪工作原理

更新时间:2016-12-29 21:33:08 大小:258K 上传用户:lihui567查看TA发布的资源 标签:激光干涉仪 下载积分:0分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。

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1483018388激光干涉仪工作原理.pdf 258K

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