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电容-压电混合式MEMS麦克风-多模态信号融合技术.docx
资料介绍
电容-压电混合式MEMS麦克风：多模态信号融合技术
引言
在单个MEMS器件中集成多种换能原理，是突破单一换能机制性能瓶颈的有效途径。2026年，苏州大学、西北工业大学及比利时鲁汶大学的联合研究团队提出了一种集成压电和电容两种换能机制的AlN基MEMS麦克风，并采用加权线性融合技术处理双路同步信号，最终使信噪比提升至66.7 dB。该研究为多模态MEMS传感器设计提供了极具前景的方向。
混合式MEMS麦克风的结构设计
压电换能部分
压电振膜由以下多层膜结构组成：
· 硅层：结构支撑层
· 热氧化层：绝缘和应力缓冲
· 底部金电极：下电极
· AlN薄膜：压电功能层，厚度600 nm
· 顶部铂电极：上电极，环形设计用于抵消残余应力
电容换能部分
电容式换能结构包含：
· 硅支撑层：固定电极
· 器件层：可动电极
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| 1372-电容-压电混合式MEMS麦克风-多模态信号融合技术.docx | 38K |
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