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SJ_Z 21297-2018 印制板图形成像指南

更新时间：2024-06-21 23:28:30 大小：4M 上传用户：sun2152查看TA发布的资源 标签：印制板 下载积分：8分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

印制板图形成像指南

范围

本指导性技术文件规定了印制板图形成像的环境、设备、材料、操作和关键控制要求本指导性技术文件适用于印制板干膜光致抗蚀剂法（简称干膜法）和液态光致抗蚀剂法（简称湿膜法）

图形成像。

a）

酸洗段应能去除在制板表面的氧化层和污染物；b）具有符合使用要求的磨刷系统：

c）具备相应的水洗及高压水洗系统；d）具有足够大的风刀压力及加热系统，保证在制板表面及孔内干燥。

4.1.1.2 浮石粉刷板机浮石粉刷板机应符合下列要求：

a）磨料浮石粉粒子与尼龙刷相结合应能去除在制板表面的污染物，形成完全砂粒化的、粗糙的、均匀的沟槽，对铜表面起粗化作用；b）具备相应的水洗及高压水洗系统；c）具有足够的干燥系统，保证在制板表面及孔内干燥。

4.1.2 化学清洗机

化学清洗机应符合下列要求：

a）除油段应能去除在制板表面的氧化层和污染物；b）微蚀段能够对铜表面进行微蚀刻，获得平整且粗糙度一致的铜表面：

c）具备相应的水洗及高压水洗系统：

d）具有足够大的风刀压力及加热系统，保证在制板表面及孔内干燥。

4.2 贴膜机

贴膜机应符合下列要求

a）根据干膜类型、性能、环境温度和湿度可调节贴膜混度：

b）根据不同板厚的加工要求可调节贴膜压力；c）根据贴膜后板面温度可调节传送速度。

4.3 曝光机

曝光机应符合下列要求

a）曝光能量可调节，能达到光致抗蚀剂最佳聚合的曝光能量控制要求：

b）曝光灯光源波长应与光致抗蚀剂的光请吸收区波长相适应；c）真空框架的真空度应能满足生产底版与光致抗蚀剂表面无间隙接触：

d）曝光台面温度通常控制在15 ℃~22 ℃.

4.4 显影机

显影机应符合下列要求：

a）传送速度可调节

b）有喷淋系统，喷淋压力可调节；c）喷淋系统应具有良好的摆动，以满足光致抗蚀剂显影均匀要求。

4.5 丝网印刷机

4.5.1 手动印刷

手动印刷设备应符合下列要求：

a）具有符合使用要求的网框夹持器、绞链和工作台；b）网框夹持器沿X轴、Y轴、Z轴可作移动调整并可以Z轴为心作角度转动调节：

c）印制板和丝网之间的距离可调节。


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