SJ_T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

更新时间：2023-11-20 13:12:37 大小：3M 上传用户：sun2152 查看TA发布的资源 标签：光掩模 下载积分：2分评价赚积分（如何评价?）打赏收藏评论(0) 举报

资料介绍

SJ_T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草，本标准代替并废止SJ/T 31080-1994《图形发生器完好要求和检查评定方法》。本标准与SJ/T 31080—1994 相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：标准名称“图形发生器完好要求和检查评定方法”修改为“光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法”；第1 章中“本标准规定了图形发生器的完好要求和检查评定方法”修改为“本标准规定了光掩膜制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法" 增加了“规范性引用文件”一章；对 3.1 中间掩模的第二名称“初级版”改为“初缩版” 对“工作台正交性”技术指标的描述做了修改对 4.1.5 中“光源均匀性为 ±5%”改为“光源非均匀性为 5%”：对4.1.6中“采用HP5501A激光干涉仪”改为“采用双频激光干涉仪”；对“计算机控制系统”的内容做了修改；一对“评定方法”的描述做了修改。本标准由中国电子技术标准化研究院归口。本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器（如3600型、EM250型等）可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。 2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 SJ/T 31001—2016 设备完好要求和检查评定方法编写导则SJ/T 31002-2016 企业设备维护保养通则术语和定义下列术语和定义适用于本文件。 3.1中间掩模 reticle初缩版用图形发生器制作在感光板上，其图形尺寸一般大于集成电路实际尺寸的掩模。 3.2可变狭缝 variable aperture在图形发生器中用于产生各种图形的机构，通常由两组可开合的刀口组成。 4完好要求 4.1主要技术指标 4.1.1工作台定位精度为 ±0.25 Hn. 4.1.2 150 mm 全程范围内的总精度为 ±0.60 Am。 4.1.3工作台正交性为 ±0.5" 4.1.4 可制作曝光面积为150 mm×150 mm的掩模。 4.1.5 具有两种曝光光源，即闪光灯光源和汞灯光源，可分别制作乳胶干板和铬版，光源非均匀性为5%. 4.1.7 可变狭缝在像面可产生线宽 2 An.至 1.5mm 的矩形，狭缝可围绕中心旋转 0°～90°， 4.1.6 采用双频激光干涉仪进行闭环控制，最小输入数据 0.1 Hm。 4.1.8自动调焦系统 2 轴运动范围是 635 Am，对版面的探测精度是 ±0.25Hm 4.2 操作系统 4.2.1 各开关及按钮启动灵活，标识齐全。 4.2.2 制动及限位装置齐全，灵活可靠。 4.3 传动系统设备运转平稳、无振动。 4.4 润滑系统润滑系统完好无损。 4.5真空系统低真空系统工作正 4.6气压系统及上过过它的压缩空气系统工作正常。由磁带机录的利，据带机应工作正常，主机和测试用滞入。为隔震台提供于 4.7 电气系统 4.7.1 电气系统进行可零，保护装置齐全有效 4.7.2 电气线路整绝缘层无破裂，无漏电现象 4.8 计算机控制定主机、显示终盘应工作正常，主机操作程序和测试程序可正常读入 4.9附件附件齐全，保管良好，无锈及损伤。 STANDARDS4.10 附属装置应保净化间应保持 21 ℃±0.1℃，相在百级以内。 4.11 安全防护 4.11.1 各安全防护装置安全、可靠。 4.11.2 接地可靠，标识明显。 4.11.3 计算机应有良好的接地地线。 4.12维护保养.