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PLD设备安装、调试及维护操作规程
资料介绍
(一) 沉积室的拆卸与加热灯的更换 1、 法兰（frange）的拆卸与安装 对称松动法兰盘上的螺栓，取出螺栓，拿下法兰盘和密封圈（gasket，Cu材料）。更换新的密封圈，用酒精清洗干净法兰与密封圈，观察表面是否干净、光滑且无明显划痕，然后装好法兰与密封圈，对称上好螺栓。先用手拧紧，再用扳手轻轻拧紧（严禁用死力，每次每个螺栓拧紧约1/8周，顺时针拧紧螺栓，共循环4~6次）。 2、 排除基板加热系统内的冷却水 打开空气压缩机，通过压力表调节气体总压力为0.5MPa，通过拉下旋钮调节排水用的气体压力到0.05MPa。关掉冷却机，停止冷却水循环，打开冷却机上的进、出水阀门。将气体压力表旁边的进、出水旋钮由开打至排水，用空气将基板加热系统内的水排出。
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| PLD操作规程.doc | 39K |
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