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mems常用名词

更新时间:2025-05-27 16:43:28 大小:531K 上传用户:iReic查看TA发布的资源 标签:mems 下载积分:2分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

本次分享的《MEMS 常用名词资料》整理了微机电系统(MEMS)领域的核心术语与概念,旨在为行业从业者、科研人员及爱好者提供快速查阅的参考工具。

资料亮点:

  1. 内容精要:涵盖 MEMS 设计、制造、封装、应用等全流程关键名词(如光刻、体硅工艺、惯性传感器、压阻效应等),剔除生僻概念,聚焦高频实用术语。

  2. 简明易懂:每个词条附中英文对照通俗化定义,兼顾专业性与可读性,降低入门门槛。

  3. 结构清晰:按技术环节分类编排(基础概念、制造工艺、器件类型、测试表征等),方便按需检索。

适用人群:

  • MEMS 行业新人快速入门

  • 跨领域研究者术语对照

  • 学生 / 爱好者知识储备


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