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新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计
资料介绍
MEMS加速度计接口电路主要采用传统sigma-delta架构实现,但这种方式中的电路失调电压很容易产生积分饱和现象.为解决这个问题,本文设计了一种可以用于钻井、石油勘探等微弱信号检测的新型数字电容接口电路.该设计在电容式MEMS加速度传感器基础上,采用FPGA实现数字三阶环路滤波器,构成5阶sigma-delta系统.采用数字环路滤波器降低了ASIC模拟电路版图设计与芯片测试难度,利于快速优化环路滤波器设计参数,改善系统稳定性和优化系统噪声性能.前置放大器采用一种相对简单的相关双采样技术,能够有效减小前置放大器的失调电压.根据MEMS加速度计前置放大器输出信号符合正态分布的特点,设计了带有一定预测功能的8-bit瞬时浮点ADC,实现模拟与数字环路滤波器互联.在200Hz带宽内,该接口电路系统噪声基底达到53.09ng/rt（Hz）,满足系统噪声设计要求.前置放大器与ADC采用XFAB XH018混合信号CMOS工艺流片,开环测试表明,前置放大器的灵敏度和噪声分别为0.69V/p F和3.20μV/rt（Hz）.
The circuit offset often causes integration saturation in the traditional sigma-delta interface of capacitive MEMS accelerometers. To address this problem,a newtype of capacitive digital interface circuit used for downhole exploration and oil detection is designed. This paper presents a MEMS-based 5th-order sigma-delta capacitive accelerometer,where the 3rd-order digital loop filter is realized using FPGA. This will reduce the ASIC analog circuit layout design and chip testing diff...
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