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基于双通道解调相位校准技术的MEMS陀螺仪接口电路芯片

更新时间：2020-07-18 16:26:21 大小：770K 上传用户：IC老兵查看TA发布的资源 标签：mems接口 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

MEMS陀螺仪传感器件的机械正交误差信号会造成陀螺仪灵敏度、偏置稳定性等系统关键性能下降,甚至使陀螺仪工作失效。同步解调可以有效消除机械正交误差信号,但需要精准控制校准相位。设计了一款基于双通道解调相位校准技术的陀螺仪接口电路芯片,采用0.35μm CMOS工艺。芯片检测通路中设计了中心频率可调的开关电容型带通滤波器,用模拟方式粗调相位误差,并消除低频振动噪声与高频耦合噪声;解调信号产生通路中设计了可调相移分频器,用数字方式精调相位误差。实验结果表明,本芯片的相位校准精度要明显高于仅采用数字相位校准技术的对比芯片,并且将系统噪声降低了一个数量级以上,偏置稳定性性能也从100（°）/h提高到了6（°）/h。

The mechanical quadrature error of MEMS gyroscope sensors may cause degradation on system performance, such as sensitivity, bias stability, and even disable the gyroscope＇s working. Synchronous demodulation can effectively eliminate mechanical quadrature error signal, but require precise control the calibration phase. We designed a type of gyro interface circuit chip based on the dual-channel demodulation phase calibration technique with 0.35 μm CMOS process. In the sense channel of the chip, a switchedcapacitor bandpass filter with tunable center frequency is proposed and used to calibrate phase error coarsely in analog way and elimin...

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