积分商城

最新搜索： 风速 CAN 协议 单片机C语言 课件 CCS 时间触发嵌入式 ADS125H01
您现在的位置是：首页 > 技术资料 > 基于非硅MEMS的新型微机械加速度计若干技术的研究
推荐星级：
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

基于非硅MEMS的新型微机械加速度计若干技术的研究

更新时间：2020-04-05 03:31:19 大小：740K 上传用户：gsy幸运查看TA发布的资源 标签：mems 下载积分：3分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

加速度传感器就是MEMS技术应用的一个重要领域之一。MEMS惯导加速度传感器是微惯性测量组合(MIMU)的核心部件，在军用航空和民用相关领域有重要的发展前景，研究高性能的MEMS惯导加速度计已成为世界各国的研究热点。基于MEMS 技术制造出的微机械加速度计不但具有体积微小化、功能集成化的特点，而且可靠性得到了提高，并且降低了成本，这对于许多高新技术领域的发展具有重要意义。      本文以目前最具吸引力的电容式微加速度计作为研究对象，对其总体结构、加工工艺进行了设计，并对加工出的微加速度计进行了电路测试。具体包括以下几个方面：      1.对微加速度计的工作原理及检测原理进行了分析。      2.确定电容式微加速度计作为研究对象，分析了电容式微加速度计的几种典型结构，综合性能指标及加工的难易程度选择了相对简单的三明治式结构。为了改善器件性能，提高量程，采用多轴结构，并将上、中、下极板设计为高对称性的圆形结构。利用ANSYS 软件对结构进行仿真分析。且通过下极板的特殊设计，实现微加速度计对称性的检测，使其具有自检功能。      3.加工工艺的研究设计。结合实验室工艺水平，制定以非硅MEMS加工技术为基础的工艺流程。整个工艺流程主要包括玻璃工艺、刻蚀工艺、牺牲层释放工艺和焊接工艺等几部分，涵括了溅射、光刻、电镀、干法刻蚀、湿法腐蚀等典型的工艺步骤。      4.电路性能检测。使用电容测试专用芯片MS3110 对加工出的微加速度计进行检测，利用单片机实现对MS3110的内部参数调节，使其工作在较好的线性范围和灵敏度条件下。实验数据的采集通过LabVIEW 采集卡实现。      按照设计的工艺流程，成功的加工出了三明治式结构的下极板和中间极板，积累了一定的工艺经验。通过检测芯片对其进行检测，分析采集数据，表明加工出的器件具有较好的对称性。

部分文件列表

文件名 大小
基于非硅MEMS的新型微机械加速度计若干技术的研究.pdf 740K

【关注视频号领20积分】   【关注公众号立即送20积分】

相关下载

全部评论(0)

暂无评论
评论赚积分>>

上传资源 上传优质资源有赏金

热门标签

更多>>

最新上传

  • 打赏
  • 30日榜单

热门下载

推荐下载

本站上的所有资源均为源于网上收集或者由用户自行上传，仅供学习和研究使用，无任何商业目的，版权归原作如有侵权，请 来信指出，本站将立即改正。

ICP许可证号：京ICP证070360号     21IC电子网 2000- 版权所有

京ICP备11013301号

京公网安备 11010802024343号