- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
非侵入式无线无源MEMS眼压传感器
资料介绍
连续监测眼压对于辅助诊断与治疗青光眼疾病具有重要作用,现有的眼压传感器存在相对灵敏度较低、中心谐振频率较高、制作工艺难度大等问题。为了解决上述问题,该文提出一种基于MEMS的非侵入式无线无源型眼压传感器。该传感器为5层堆叠结构,采用Parylene作为柔性衬底层、铜作为电极层、PDMS作为介电层,其中电极层和介电层构成两个电感和两个电容,形成C-L-C-L串联谐振电路。通过MEMS平面工艺和热塑形方法制作成能够与眼球紧密贴合的曲面形状,这种设计方案能有效地解决传感器的制作工艺难度大等问题。实验结果表明:该眼压传感器的中心谐振频率降低到了40 MHz,相对灵敏度达到1028.57 ppm/kPa,能够分辨出最小50 Pa(0.375 mmHg)的眼压值变化,为实现长期、连续性地监测眼压提供了技术支持。
部分文件列表
| 文件名 | 大小 |
| 非侵入式无线无源MEMS眼压传感器.pdf | 813K |
最新上传
- 打赏
- 30日榜单
-
我是蒙帆 打赏1.00元 2天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：w178191520
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：小猫做电路
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：gsy幸运
-
21ic下载 打赏210.00元 3天前
用户：zhengdai
-
21ic下载 打赏210.00元 3天前
用户：jh0355
-
21ic下载 打赏210.00元 3天前
用户：jh03551
-
21ic下载 打赏210.00元 3天前
用户：xzxbybd
-
21ic下载 打赏70.00元 3天前
用户：铁蛋锅
-
21ic下载 打赏60.00元 3天前
用户：sun2152
-
21ic下载 打赏60.00元 3天前
用户：xuzhen1
-
21ic下载 打赏60.00元 3天前
用户：liqiang9090
-
21ic下载 打赏20.00元 3天前
用户：w1966891335
-
21ic下载 打赏30.00元 3天前
用户：玉落彼岸
-
21ic下载 打赏15.00元 3天前
用户：x15580286248
-
21ic下载 打赏15.00元 3天前
用户：kk1957135547
-
21ic下载 打赏15.00元 3天前
用户：w993263495
-
21ic下载 打赏30.00元 3天前
用户：SkyEagle88
-
21ic下载 打赏25.00元 3天前
用户：hp860629
-
21ic下载 打赏5.00元 3天前
用户：dong2223333
-
21ic下载 打赏10.00元 3天前
用户：dxb3320
-
21ic下载 打赏10.00元 3天前
用户：DXB193394
-
21ic下载 打赏10.00元 3天前
用户：westup
-
21ic小能手 打赏15.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏20.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏8.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
资料：高频功率放大器设计
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
资料：基于PID的双轮平衡车
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：w178191520
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：小猫做电路
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：zhengdai
全部评论(0)