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《MEMS技术及其应用》教程

更新时间：2018-04-12 09:35:30 大小：9M 上传用户：z00查看TA发布的资源 标签：mems教程 下载积分：2分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(2) 举报

资料介绍

虽然大部分人对于MEMS（Microelectromechanical systems，微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。

MEMS是一门综合学科，学科交叉现象及其明显，主要涉及微加工技术，机械学/固体声波理论，热流理论，电子学，生物学等等。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米，相比之下头发的直径大约是50微米。

MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等，是微型传感器的主力军，正在逐渐取代传统机械传感器，在各个领域几乎都有研究，不论是消费电子产品、汽车工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域。


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MEMS技术及其应用.ppt 9M

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全部评论(2)

  • 2021-11-19 18:55:59h1ghn00n

    谢谢楼主，在努力学习MEMS

  • 2019-07-29 13:02:12suxindg

    谢谢分享

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