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平面度精密测量电路设计与研究
资料介绍
针对小尺寸高精度平面度测量设计了一种测头检测电路，LVDT 位移传感器与 AD698 结合使用产生的电信号送至 24 位 A/D 转换，将测头采集的数据与扭簧表数值做对照实验，运用最小二乘法分析得到亚微米级的测量精度。
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| 文件名 | 大小 |
| 平面度精密测量电路设计与研究.pdf | 338K |
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