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薄膜体声波传感器及其读出电路进展

更新时间：2020-07-05 07:51:14 大小：1M 上传用户：songhuahua查看TA发布的资源 标签：传感器 下载积分：5分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

薄膜体声波谐振器（FBAR）具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质量探测器,与采用其他微电子机械系统的同类传感器相比,已取得了更好的传感性能。该文综述了FBAR传感器的进展,特别是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频读出电路;提出了采用六端口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成电路或低温共烧陶瓷工艺制备的六端口网络构建集成FBAR传感器的原创设想。

The high sensitivity,high operating frequencies（GHz）,low power consumption,small size and IC compatible fabrication process of FBAR make this technology ideal for high performance transducers and R-based sensors as,for example,high sensitivity mass sensors,DNA and protein detector,gas sensor,mercuryion detector,and localized-mass detector achieve improved sensing performance compared to other MEMS sensor primary focus of this paper is to summarize the FBAR sensor technology developments and the investigations of the FBAR high sensitive sensor,FBAR resonant sensor and their high frequencies read-out original idea which pr...

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