推荐星级:
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

芯片制造过程中的微影技术

更新时间:2020-05-26 11:25:38 大小:487K 上传用户:xiaohei1810查看TA发布的资源 标签:芯片制造 下载积分:5分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

半导体工业在光学微影技术的帮助下,长期形成持续且快速的成长态势,但光学微影在面对更精密的工艺流程已开始出现应用瓶颈,尤其在小于0.1微米或更精密的工艺流程,必须使用先进光学微影或非光学微影术予以克服。

部分文件列表

文件名 大小
芯片制造过程中的微影技术.pdf 487K

全部评论(0)

暂无评论

上传资源 上传优质资源有赏金

  • 打赏
  • 30日榜单

推荐下载