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半导体材料电阻率测试原理研究和测试仪研制
资料介绍
电阻率是半导体材料最重要的特性参数之一，通过对其测量，可以掌握样品中杂质浓度的分布情况。因此，在半导体工业中，必须快速、准确地对硅晶圆片电阻率进行测量和分档。 本文首先详细分析了四探针电阻率测试原理，在比较了几种测试方法的基础上，确立了矩形四探针法，与国内厂家现在普遍采用的直线四探针法相比，用矩形四探针法可以获得更小的测量微区，而且其游移偏差也小于直线四探针测量所产生的偏差。 在此基础之上，将直流四探针测试方法与嵌入式系统相结合，设计出数字化智能四探针电阻率测试仪，详细说明了各部分电路的组成及功能，以及相应的软件设计。该系统依据直流四探针法原理，采用由16位单片机MSP430控制的高稳定度可编程恒流源电路和低温漂、低噪声可编程放大器电路，以及自动量程转换电路等部分构成测量回路，使得该仪器能够自动识别待测样品的电阻率，并根据电阻率大小自动切换量程，既可以独立工作，又可以通过RS-232接口与PC机通信，大大提高了该测试仪的数据处理能力和测量精度，而且操作十分方便高效。该测试仪有较高的实用价值和发展前景。
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| 半导体材料电阻率测试原理研究和测试仪研制.pdf | 1M |
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