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全数字式电容位移传感器的研制

更新时间：2020-03-09 09:13:37 大小：1M 上传用户：IC老兵查看TA发布的资源 标签：位移传感器 下载积分：3分评价赚积分（如何评价?）收藏评论(0) 举报

资料介绍

由于具有结构简单、动态特性好、能实现非接触式测量等优点，电容位移传感器广泛应用于超精密加工、高精度定位、超精密测量等领域。现有电容位移传感器普遍采用测头与测量电路分立式设计，信号传输电缆的寄生电容等分布参数对传感器的分辨力、稳定性等性能影响显著，因此信号传输距离受到严重限制。如何保证电容模拟信号传输的稳定性以及减少漂移，就成了影响电容传感器性能的关键。

本文对目前广泛应用的电容测量电路进行了较系统的归纳和分析。在此基础上，设计了以电容数字转换器为主的测量电路，采用将该测量电路完全内置于传感器测头的思想，研制出一种新型的全数字式电容位移传感器。其测量电容值的数字化过程全部在测头内部完成，由测头直接输出数字信号并由单片机进行处理，电路结构简单，整个电路中没有影响测量稳定性以及产生零点漂移的元器件，有效解决了传统电容传感器存在的稳定性差和漂移大的技术问题。具体研究工作如下：

首先，根据课题需要达到的指标，对传感器测头的机械结构进行了设计，并给出了各部分尺寸结构的设计依据。

其次，传感器采用MSP430F149单片机作为主控芯片，实现了整机的智能化，完成了集采集、处理、控制于一体的单片机系统设计，详细介绍了系统的软、硬件结构。

再次，研制了基于CY7C68013A芯片的USB2.0接口模块，传输速度达到16Mb/s，完成了上位机应用程序的编写,实现了良好的人机接口。

最后，采用PI公司的压电陶瓷微动台完成了对传感器的标定，并进行了精度比对实验。

综上，本文完成了新型电容位移传感器的设计与制造，理论与实验结果表明：全数字式电容位移传感器具有分辨力高、稳定性好和漂移小的优点，10μm测量范围范围内分辨力达到1nm，线性度优于0.08％。