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微流体系统驱动技术的研究进展

更新时间：2020-01-08 23:15:41 大小：1M 上传用户：xuzhen1查看TA发布的资源 标签：微流体系统 下载积分：1分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

摘要：微流体驱动大致可以分为两类：一类是从宏观流体驱动移植过来的驱动方式；另一类是根据微尺度下流体特性设计的驱动方式。对两类不同的驱动方式进行了介绍与比较，前者原理成熟，基本都符合经典流体理论，在亚微米以上级微流体流道尺寸中的应用较广；相比之下，后者设计原理新颖，常用于微米甚至纳米级的微流体系统中，具有更好的发展前景。

关键词：微机电系统；微流体系统；微流体驱动

MEMS是指基于（但不限于）IC工艺设计制造、集电子元件与机械结构于一体的微小系统。微流体系统是MEMS的一个重要分支，包括微传感器、微泵、微阀、微喷和微通道等。在MEMS发展的初期，人们把主要精力都放在微加工技术上，随着硅加工技术的日益成熟，人们发现制约MEMS发展的不再是加工手段，而是微系统中出现的与宏观尺寸下不同的、人们尚未认识清楚的诸如流动和换热等基本问题。正如Mohamed在一篇技术报告中指出，技术的发展速度超出人们对存在其中的

内部机理的理解能力”（11。因此，近年来对微流体系统的研究受到了前所未有的审视。

作为MEMS的一个组成部分，微流体系统同样具有集成化和批量生产的特点，同时由于尺寸小，从而可降低系统中的无效体积、能耗和试剂用量，而且具有响应快的特点，因此有着广阔的应用前景，例如流体的微量配给、药物的微量注射、集成电路的冷却及微小卫星的推进等。近年来，微流体系统的发展主要以生物芯片中由微流道组成的微分析系统研究，微混和、分离样品研究及微推进器中的燃料输送研究等为代表。


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