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液体到液体体冷却系统概述及其工作原理

更新时间:2016-06-01 08:58:55 大小:2M 上传用户:editor3查看TA发布的资源 标签:单片机 下载积分:0分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(1) 举报

资料介绍

冷却和温度控制系统在半导体制造设施中得到广泛使用。无论大型还是小型的生产设备,都会安装有数百 甚至数千个冷却系统,并在其中连续运转。这些系统所采用的工艺通常设置为完全复制型,这意味着工艺 系统是由工艺设备的 OEM(原始设备制造商)开发并转变而成。在半导体制造设施中使用的这些关键的生 产设备都必须要非常可靠,易于维护,并具有最小的停机时间。对于支持这些生产设备的冷却系统其要求 也是同样。通常使用的冷却系统具有一水冷蒸发器,而不是空气冷却的蒸发器。

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文件名大小
Liquid-to-Liquid_Cooling_SemiTools_Tech_Paper_SC.pdf2280KB

全部评论(1)

  • 2022-03-02 17:41:29l21095

    现在液冷这么流行,学习一下,Laird,以前有合作经验

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