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FMM掩膜版技术原理与应用
资料介绍
FMM（Fine Metal Mask，精细金属掩膜版）是一种在显示面板制造中用于蒸镀工艺的关键精密部件，主要应用于OLED（有机发光二极管）显示器件的生产过程，尤其是柔性OLED屏幕的制造。它通过在金属薄片上蚀刻出高精度的图案，实现有机发光材料在基板上的精准沉积，从而形成像素阵列。
一、FMM掩膜版的结构与材料
1. 基本结构
FMM掩膜版通常由金属箔片（厚度一般为5-20μm）和边框（Frame）两部分组成。金属箔片上分布着与显示面板像素一一对应的微小开口（孔径尺寸通常在5-50μm），边框则用于固定箔片并维持其平面度，确保蒸镀过程中的位置精度。
2. 核心材料
· 金属箔片：常用材料为镍（Ni）或镍合金（如Ni-Co合金），具有高延展性、低热膨胀系数和良好的机械强度，能够满足高精度蚀刻和重复使用的要求。
· 边框：多采用不锈钢（SUS）材料，提供足够的支撑刚度，减少掩膜版在拉伸和使用过程中的变形。
二、FMM掩膜版的制造工艺
FMM掩膜版的制造是一个高度精密的过程，涉及多个复杂步骤，核心工艺包括：
1. 金属箔片制备
通过轧制工艺将金属材料加工成超薄箔片，需严格控制厚度均匀性（误差通常要求在±0.5μm以内），同时保证表面光洁度，避免微小瑕疵影响后续图案精度。
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