积分商城

最新搜索： 数字全波段钟控收音机 扫频仪 13J404 电梯 OLED驱动芯片 RM69 元件库 你好放大器
您现在的位置是：首页 > 技术资料 > 激光剥离转移技术研究
推荐星级：
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

激光剥离转移技术研究

更新时间：2026-04-24 11:06:43 大小：14K 上传用户：江岚查看TA发布的资源 标签：激光 下载积分：2分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

一、技术概述

激光剥离转移（Laser Lift-Off，LLO）是一种利用激光能量实现外延层与衬底分离的先进材料加工技术。该技术通过高能量激光束聚焦于外延层与衬底的界面区域，使特定材料层发生物理或化学变化，从而实现两者的高效分离。其核心原理在于激光能量的精准控制与材料界面的选择性吸收，具有非接触、损伤小、精度高等显著优势，已广泛应用于半导体、光电子、柔性电子等前沿领域。

二、工作原理

（一）能量吸收机制

激光剥离转移的关键在于界面层对特定波长激光的选择性吸收。当激光束透过透明衬底（如蓝宝石、石英等）到达外延层与衬底的界面时，界面处的材料（通常为牺牲层或原生生长层）吸收激光能量后迅速升温，引发局部热分解、升华或相变。例如，在GaN基半导体材料剥离中，激光能量可使界面处的GaN层分解为金属Ga和N₂气体，形成分离间隙。

（二）分离过程

激光能量作用下，界面层发生物相变化产生的气体压力或体积膨胀，推动外延层与衬底分离。分离过程可分为三个阶段：
1.激光能量沉积阶段：激光束以特定扫描路径作用于界面，能量在微米级深度内聚焦；
2.界面分离阶段：吸收能量的界面层发生物理化学变化，产生分离驱动力；
3.外延层转移阶段：在外力辅助下（如机械剥离或粘弹性材料粘贴），分离后的外延层被转移至目标衬底。


部分文件列表

文件名 大小
激光剥离转移技术研究.docx 14K

【关注B站账户领20积分】

相关下载

全部评论(0)

暂无评论
评论赚积分>>

上传资源 上传优质资源有赏金

热门标签

更多>>

最新上传

  • 打赏
  • 30日榜单

热门下载

资料专题

推荐下载

本站上的所有资源均为源于网上收集或者由用户自行上传，仅供学习和研究使用，无任何商业目的，版权归原作如有侵权，请 来信指出，本站将立即改正。

ICP许可证号：京ICP证070360号     21IC电子网 2000- 版权所有

京ICP备11013301号

京公网安备 11010802024343号