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ccd工作原理

更新时间：2019-11-23 10:06:03 大小：942K 上传用户：xuzhen1查看TA发布的资源 标签：ccd 下载积分：0分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

1 CCD的基本工作原理

CCD（Charged Coupled Device，电荷耦合器件）是由一系列排得很紧密的MOS电容器组成，它的突出特点是以电荷作为信号，实现电荷的存储和电荷的转移。因此，CCD工作过程的主要问题是信号电荷的产生、存储、传输和检测1。以下将分别从这几个方面讨论CCD器件的基本工作原理。

1.1 MOS电容器

CCD是一种固态检测器，由多个光敏像元组成，其中每一个光敏像元就是一个MOS（金属-

氧化物半导体）电容器。但工作原理与MOS品体管不同

CCD中的MOS电容器的形成方法是这样的：在P型或N型单晶硅的衬底上用氧化的办法生成一层厚度约为100~150nm的SiO，绝缘层，再在Si0，表面按一定层次蒸镀一金属电极或多晶硅电极，在衬底和电极间加上一个偏置电压（栅极电压），即形成了一个MOS电容器（见图3-1）.


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