- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
705-MEMS压力传感器技术原理与应用.docx
资料介绍
MEMS压力传感器技术原理与应用
引言
MEMS压力传感器是MEMS传感器中技术最成熟、应用最广泛的品类之一，2025年全球市场规模达108.4亿美元。其利用MEMS技术在硅片上制造微压力敏感膜片，通过压阻、电容或谐振原理测量压力。在汽车胎压监测、工业过程控制、医疗设备和消费电子中具有广泛的应用。本文系统介绍MEMS压力传感器的工作原理、结构类型及典型应用。
工作原理
压阻式
在硅膜片上集成压阻电阻，当压力使膜片变形时，压阻电阻值发生变化，通过惠斯通电桥测量。压阻式压力传感器具有线性度好、频响宽、工艺成熟的优点。
电容式
压力使膜片位移，引起膜片与固定电极之间的电容变化。电容式压力传感器灵敏度高、功耗低，适合低压力测量。
谐振式
压力改变谐振结构的应力，引起谐振频率偏移。谐振式压力传感器具有精度高、长期稳定性好的优点。
结构类型
绝压传感器
膜片一侧为真空参考腔，测量绝对压力，适用于高度计和气压计。
差压传感器
膜片两侧分别通入高压和低压，测量压差，适用于流量测量和过滤器监测。
部分文件列表
| 文件名 | 大小 |
| 705-MEMS压力传感器技术原理与应用.docx | 37K |
最新上传
- 打赏
- 30日榜单
-
21下载积分 打赏310.00元 2天前
用户：江岚
-
21下载积分 打赏310.00元 2天前
用户：潇潇江南
-
21下载积分 打赏60.00元 2天前
用户：他山之石可攻玉
-
21下载积分 打赏310.00元 2天前
用户：小猫做电路
-
21下载积分 打赏210.00元 2天前
用户：zhengdai
-
21下载积分 打赏210.00元 2天前
用户：w993263495
-
21下载积分 打赏10.00元 2天前
用户：烟雨
-
21下载积分 打赏60.00元 2天前
用户：gsy幸运
-
21下载积分 打赏70.00元 2天前
用户：铁蛋锅
-
21下载积分 打赏65.00元 2天前
用户：xzxbybd
-
21下载积分 打赏60.00元 2天前
用户：jh0355
-
21下载积分 打赏60.00元 2天前
用户：w178191520
-
21下载积分 打赏20.00元 2天前
用户：jh03551
-
21下载积分 打赏20.00元 2天前
用户：sun2152
-
21下载积分 打赏20.00元 2天前
用户：kk1957135547
-
21下载积分 打赏25.00元 2天前
用户：w1966891335
-
21下载积分 打赏20.00元 2天前
用户：xuzhen1
-
21下载积分 打赏15.00元 2天前
用户：x15580286248
-
21下载积分 打赏25.00元 2天前
用户：pcb
-
21下载积分 打赏20.00元 2天前
用户：bhacker
-
21下载积分 打赏15.00元 2天前
用户：liqiang9090
-
21下载积分 打赏25.00元 2天前
用户：有理想666
-
21下载积分 打赏15.00元 2天前
用户：godbox
-
21下载积分 打赏15.00元 2天前
用户：aetek
-
21下载积分 打赏5.00元 2天前
用户：mulanhk
-
21下载积分 打赏5.00元 2天前
用户：JuneLin61
-
21下载积分 打赏5.00元 2天前
用户：ccc6188
-
21下载积分 打赏5.00元 2天前
用户：木集盒
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏3.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏8.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
全部评论(0)