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RF-MEMS器件及其关键工艺技术

更新时间:2010-07-21 12:40:01 大小:223K 上传用户:ic2ic查看TA发布的资源 标签:RF-MEMS器件及其 下载积分:2分 评价赚积分 (如何评价?) 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件,易于单片集成,且其性能也优于传统
射频器件,此外,RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置,如可重构天线。因此,RF-MEMS近年来已成为全世界范围

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