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RF-MEMS器件及其关键工艺技术
资料介绍
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件,易于单片集成,且其性能也优于传统
射频器件,此外,RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置,如可重构天线。因此,RF-MEMS近年来已成为全世界范围
射频器件,此外,RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置,如可重构天线。因此,RF-MEMS近年来已成为全世界范围
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RF-MEMS器件及其关键工艺技术 | 223K |
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