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采用光电技术测量微细线宽的探讨

更新时间：2011-03-31 19:40:01 大小：131K 上传用户：linjia查看TA发布的资源 标签：采用光电技术 下载积分：1分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

在显微物镜的成象光路中， 增加一块振荡反射镜， 使被测缦宽的放大象相对窄缝扫描， 将光学边界信息转变为梯形电脉冲。经过电路处理。得到两个史彤电脉冲。填充高频矩形脉冲测量两尖彤脉冲之间的时间问膈，

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