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采用光电技术测量微细线宽的探讨
资料介绍
在显微物镜的成象光路中， 增加一块振荡反射镜， 使被测缦宽的放大象相对窄缝扫描， 将光学边界信息转变为梯形电脉冲。经过电路处理。得到两个史彤电脉冲。填充高频矩形脉冲测量两尖彤脉冲之间的时间问膈，
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| 采用光电技术测量微细线宽的探讨 | 131K |
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