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电容式微加速度计的气膜阻尼分析
资料介绍
针对电容式微加速度计中的气膜阻尼问题，基于稀薄气体动力学理论和滑流修正的压膜雷诺方程，分析了敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼效应，得到了阻尼力和阻尼系数的简化解析解。研究结果表明，敏感质量块
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