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电子级多晶硅生产技术研究
资料介绍
介绍了目前国内外电子级多晶硅生产技术的发展状况,重点说明了改良西门子法电子级多晶生产技术原理及其工艺流程,主要包括:氢气制备及纯化、氯化氢合成、低压氯化(三氯氢硅合成)、低温氢化(四氯化硅转化)、精馏、CVD还原、尾气回收和后处理等工序。
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文件名 | 大小 |
电子级多晶硅生产技术研究.pdf | 377K |
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