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  • 半导体单晶抛光片清洗工艺分析

    大小：88K 更新时间：2022-11-03 下载积分：2分

    随着半导体器件和大规模集成电路的迅速发 展 , 对半导体器件的电性能和可靠性的要求越来越 高 , 这就使半导体材料抛光片表面洁净度成为了材 料和器件发展的首要问题。 要得到高质量的半导体 抛光片 , 仅仅除去抛...

    标签：半导体抛光片
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