- 1
- 2
- 3
- 4
- 5
适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器
资料介绍
为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响，提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中，从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介绍了此种压力传感器的工作原理，使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况。最后，利用微机电系统（MEMS）技术成功制作出了尺寸为1．5mmX1．5mm×500“m的压阻式压力传感器。用压力检测平台对该压力传感器进行了测试，结果表明，在25～125℃，其线性度小于2．73％，灵敏度约为20mV／v．MPa，满足现代工业使用要求。
部分文件列表
| 文件名 | 大小 |
| 适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器.pdf | 4M |
最新上传
- 打赏
- 30日榜单
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：w178191520
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：小猫做电路
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：zhengdai
-
21ic下载 打赏220.00元 3天前
用户：gsy幸运
-
21ic下载 打赏220.00元 3天前
用户：jh0355
-
21ic下载 打赏210.00元 3天前
用户：jh03551
-
21ic下载 打赏60.00元 3天前
用户：sun2152
-
21ic下载 打赏60.00元 3天前
用户：xuzhen1
-
21ic下载 打赏80.00元 3天前
用户：xzxbybd
-
21ic下载 打赏60.00元 3天前
用户：铁蛋锅
-
21ic下载 打赏60.00元 3天前
用户：liqiang9090
-
21ic下载 打赏20.00元 3天前
用户：方中禾
-
21ic下载 打赏20.00元 3天前
用户：w1966891335
-
21ic下载 打赏30.00元 3天前
用户：玉落彼岸
-
21ic下载 打赏15.00元 3天前
用户：kk1957135547
-
21ic下载 打赏15.00元 3天前
用户：w993263495
-
21ic下载 打赏15.00元 3天前
用户：x15580286248
-
21ic下载 打赏20.00元 3天前
用户：WK520077778
-
21ic下载 打赏25.00元 3天前
用户：hp860629
-
21ic下载 打赏15.00元 3天前
用户：sbfd010
-
21ic下载 打赏10.00元 3天前
用户：严光辉
-
鹏鹏科技 打赏1.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
资料：四层无人机飞控打板文件
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
资料：AD通用3D封装库
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
资料：DeepSeek使用教程
-
21ic小能手 打赏5.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏20.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏10.00元 3天前
-
21ic小能手 打赏15.00元 3天前
-
sd-hyc 打赏1.00元 3天前
资料：神州易刻2024最新版
-
柏涵 打赏1.00元 3天前
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：jh0355
-
21ic下载 打赏310.00元 3天前
用户：w178191520
-
21ic下载 打赏210.00元 3天前
用户：gsy幸运
-
21ic下载 打赏210.00元 3天前
用户：zhengdai
-
21ic下载 打赏210.00元 3天前
用户：jh03551
-
21ic下载 打赏110.00元 3天前
用户：liqiang9090
-
21ic下载 打赏60.00元 3天前
用户：sun2152
全部评论(0)