积分商城

最新搜索： 常用贴片元件封装AD库 mppt STM32F2xx_StdPeriph_Lib Keil.STM32F4 IP178G EESYSTEM
您现在的位置是：首页 > 技术资料 > 利用离子色谱仪分析洁净室空气中的痕量阴离子含量
推荐星级：
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5

利用离子色谱仪分析洁净室空气中的痕量阴离子含量

更新时间：2020-10-28 09:49:33 大小：831K 上传用户：gsy幸运查看TA发布的资源 标签：色谱仪分析 下载积分：2分 评价赚积分 （如何评价?） 打赏 收藏 评论(0) 举报

资料介绍

随着工艺的推进,线宽的缩小,洁净室空气中阴离子的存在对芯片产品的良率影响更加明显,这就要求对阴离子含量的分析能达到更低的检出限以更好的管控洁净室空气的质量。描述一种分析洁净室空气中的痕量阴离子含量的方法,可以达到ppt level的检出限,明显优于目前大部分Fab厂的ppb level的检出限,其中已知难以分离的醋酸根离子也达到了2.53的分离度,方法的回收率大于95%。

With the advancement of technology and the reduction of linewidth, the presence of anions in the clean room air has a more obvious impact on the yield of chip products, which requires the analysis of anion content to reach a lower detection limit to better control the quality of clean room air. This paper describes a method for the determination of Trace Anions in the air of clean room. It can reach the detection limit of PPT level, which is obviously better than that of most Fab plants. The known acetate ions which are difficult to be separated also reach the resolution of 2.53, and the recovery rate of the method is more than 95%.

部分文件列表

文件名 大小
利用离子色谱仪分析洁净室空气中的痕量阴离子含量.pdf 831K

【关注B站账户领20积分】

相关下载

全部评论(0)

暂无评论
评论赚积分>>

上传资源 上传优质资源有赏金

热门标签

更多>>

最新上传

  • 打赏
  • 30日榜单

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户：jh0355

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户：zhengdai

  • 21ic下载 打赏310.00元   3天前

    用户：gsy幸运

  • 21ic下载 打赏230.00元   3天前

    用户：小猫做电路

  • 21ic下载 打赏210.00元   3天前

    用户：w178191520

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户：jh03551

  • 21ic下载 打赏90.00元   3天前

    用户：铁蛋锅

  • 21ic下载 打赏80.00元   3天前

    用户：xzxbybd

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户：kk1957135547

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户：w1966891335

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户：w993263495

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户：sun2152

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户：xuzhen1

  • 21ic下载 打赏60.00元   3天前

    用户：liao6

  • 21ic下载 打赏70.00元   3天前

    用户：liqiang9090

  • 21ic下载 打赏70.00元   3天前

    用户：mulanhk

  • 21ic下载 打赏20.00元   3天前

    用户：x15580286248

  • 21ic下载 打赏30.00元   3天前

    用户：玉落彼岸

  • 21ic下载 打赏5.00元   3天前

    用户：hnygpx

  • 21ic下载 打赏10.00元   3天前

    用户：vikey_zhu

  • 21ic下载 打赏5.00元   3天前

    用户：fine0406

热门下载

资料专题

推荐下载

本站上的所有资源均为源于网上收集或者由用户自行上传，仅供学习和研究使用，无任何商业目的，版权归原作如有侵权，请 来信指出，本站将立即改正。

ICP许可证号：京ICP证070360号     21IC电子网 2000- 版权所有

京ICP备11013301号

京公网安备 11010802024343号